Piezorezistivní snímač tlaku
Odporový tenzometr je jednou z hlavních součástí piezorezistivního snímače tahu. Princip činnosti kovového odporového tenzometru je založen na jevu, že odpor tenzometru adsorbovaného na substrátu se mění s mechanickou deformací, běžně známou jako odporový deformační efekt.
Keramický snímač tlaku
Keramický snímač tlaku je založen na piezorezistivním efektu. Tlak působí přímo na přední povrch keramické membrány a způsobuje mírnou deformaci. Na zadní straně keramické membrány je vytištěn tlustý filmový odpor, který tvoří Wheatstoneův můstek. Díky piezorezistivnímu efektu piezorezistivního rezistoru generuje můstek vysoce lineární napěťový signál, který je úměrný tlaku a také úměrný budícímu napětí. Standardní signály jsou kalibrovány na 2,0/3,0/3,3 mV/V atd. v závislosti na rozsahu tlaku a jsou kompatibilní s tenzometrickými snímači.
Difuzní silikonový tlakový senzor
Princip činnosti difuzního křemíkového tlakového senzoru je také založen na piezorezistivním efektu. Na tomto principu působí tlak měřeného média přímo na membránu snímače (nerezová nebo keramická), čímž dochází k mikro-posunu membrány úměrnému tlaku média. To má za následek změnu odporu snímače. Elektronické obvody detekují tuto změnu a vydávají standardní měřicí signál odpovídající tomuto tlaku.
Safírový tlakový senzor
Tento snímač využívá principu tenzometru a jako polovodičový snímací prvek využívá křemíkový{0}safír, který má jedinečné metrologické vlastnosti. Proto jsou polovodičové snímací prvky vyrobené z křemíkového-safíru necitlivé na změny teploty a vykazují vynikající provozní vlastnosti i při vysokých teplotách; safír má silnou radiační odolnost; navíc křemíkové-safírové polovodičové snímací prvky nemají žádný p-n drift.
Piezoelektrický snímač tlaku
Piezoelektrický jev je hlavním principem činnosti piezoelektrických senzorů. Piezoelektrické snímače nelze použít pro statická měření, protože náboj po působení vnější síly je zachován pouze tehdy, když má obvod nekonečnou vstupní impedanci. Protože tomu tak ve skutečnosti není, piezoelektrické senzory mohou měřit pouze dynamické napětí.